업계통신표준 SECS/GEM!

신규 PC를 적용하고 신규 모션라이브러리를 적용하고, 테스트하느냐고 바쁜 한주가 지나고 다시 한주를 시작하는 때가 되었네요.

모션보드(아진엑스텍)가 새로산 ASUS의 PCIe 1배속 슬롯을 지원을 안해줘서 고생에 고생을 했습니다. 결국 아진엑스텍에서 칩셋을 바꿔야 한다는 결론을 얻었네요. 그리고 아진쪽에서는 당장 해결해줄 의사가 없다고 하네요.

 

도대체 왜 제일 많이사는 ASUS보드를 지원안하는거냐고요.

 

슬픈이야기는 뒤로하고 오늘은 온라인통신중에서 현재 삼성에서 쓰고 있는 통신인 Secs/Gem에 대해서 설명 하려 합니다.

교과서적인 SECS/GEM의 정의는 다음과 같습니다.

 

Secs/Gem 의 정의

 

SECS : 통신을 위한 프로토콜에 대한 규약을 통칭합니다.

GEM : 장비의 동작에 대한 시나리오와 이때 사용되는 메세지 관한 표준 정의 사항입니다.

 

결국, SECS는 통신에 관한 방법 GEM은 통신을 어떻게 활용할것인가에 대한 이야기입니다.

위에 표에서 TC와 설비에서의 통신규약과 표준 메세지 정의 사항이라고 보시면 됩니다.

 

그러면, 우리는 왜 SECS/GEM을 사용하는 걸까요?

제일 큰 이유는 반도체 공정에서는 여러가지 종류의 장비가 존재하는데 이 모든 설비를 같은 인터페이스(SECS/GEM)으로 묶어서 사용하기 위함입니다.

결국에는 업계 표준이므로 통신에 소모되는 설비회사의 노력을 줄여주는 역할을 하게 됩니다. 역시 표준이 좋습니다.

 

좀더 세세하게 사용하는 이유를 살펴보면 다음과 같습니다.

 

¡장비자동화 서버 (이하 EAP:Equipment Application Program)를 이용하여 EAP 상위에 있는 MES (Manufacturing Execution System)에 정확한 Lot 및 장비의 상태를 관리합니다.

¡Operator의 작업 실수로 인한 Lot 사고를 방지합니다.

¡ 검사 진행이후에  장비에서 나오는 수많은 Data (예 : 불량율, 검사맵좌표 등등)의 수집합니다.

¡RMS(Recipe Management System) : 장비 파라미터 조회 및 설정합니다.

¡FDC (Fault Detection Clasification),ALARM 등 다양한 Process와 직,간접적으로 영향을 줄 수 있는 시스템들의 Data를 제공합니다.

 

그러면 장비회사측면에서 볼때 온라인통신(SECS/GEM)을 구현하려면 어떻게 해야 할까요?

정답은 SECS/GEM 라이브러리 즉, 드라이버를 사서 쓰는겁니다. 구현을 하게 되면 신경써야 할 부분이 정말 많아 집니다.

그래서 통신관련과 간단한 시나리오는 드라이버를 통해서 하고,

장비회사에서는 메인시나리오 와 장비고유 데이터등을 정하여 통신을 하면 된다는 이야기 입니다.

 

그러면 기본 시나리오를 보겠습니다. 

결국 위에 시나리오를 실제로 구현하는 하는 일만 하고 통신은 상용드라이버를 통해서 통신을합니다.

처음에는 보기 힘드시겠지만 메세지구조와 시나리오 위주로 보시면 이해가 될꺼라 생각됩니다.

SECS-GEM LOG.txt

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